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    滑阀真空泵结构特点及发展概况

    发布时间:2018-07-17 21:38:10 来源:admin
    滑阀式真空泵是油封机械真空泵的一种。它属于变容式的气体传输泵。它可单独使用获得真空,也可作为罗茨真空泵、油增压泵和油扩散泵的前级泵。
     
    目前,滑阀泵有三种结构形式:(a)滑阀杆铰接在滑阀环上;(b)滑阀杆与滑阀环做成一体;(c)行星式滑阀泵,行星式滑阀泵与体积和转速相同的其他形式的滑阀泵相比,由于滑阀体尺寸较小,抽速较大。但由于滑阀杆摆动的幅度很大,这种结构只适用于小型泵。在实际产品中,均采用以滑阀杆与滑阀环做成一体的结构。
     
    滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大很多,因此常常被用在大型真空设备上?;П檬切接捅弥谐槠孔罡叩谋?。这种泵适用于从容积大的真空密封容器内迅速抽除空气和不与黑色金属及真空油起反应的非凝结性气体;但不适用于抽除含氧量过高、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、对真空泵油起化学反应的以及含有颗粒粉尘的气体。
     
    滑阀泵有单级和双级两种形式,单级泵的极限压力在0.6~1.3Pa(关气镇),双级泵的极限压力在0.06Pa。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来,与单级滑阀泵相比,它具有可以获得较高的真空度,同时滑阀泵容量大,在与罗茨泵配置成机组后,可以使用在较低极限压力又要求有一定抽速的场合等优点,因此双级滑阀泵常使用在大型真空设备系统中,满足需要稳定较大抽速和较高真空度的需求,这是单级滑阀泵很难达到的,双级滑阀泵在这一领域具有很强的竞争力。随着新能源研究、半导体行业、平板玻璃镀膜设备以及航天所需的真空模拟设备、低压风洞装置等真空应用的广泛发展需要,对双级滑阀泵的需求增加十分明显。
     
    近年来随着我国真空应用技术领域的扩大和我国国际交流的不断扩大,各种真空获得设备的发展非常迅速,国产真空泵已经在不同领域得到广泛应用,不少泵还出口到国外,得到国外用户的认可,有的还受到好评。目前全球真空泵市场销售额据不完全统计约20亿美元左右,且每年还以7%的速度在增长。全国生产滑阀泵的企业有几十家,年产量约为5000台,主要集中在浙江、广东、沈阳等地。因为滑阀式真空泵生产技术含量高,制造性能良好、振噪低的滑阀泵难度大,仅有美国K:INNEY,STOKES、英国GENERAL、德国LEYBOLD.HERAEUS、日本大阪真空株式会社等著名的滑阀泵生产公司能生产,其产品占领了全球滑阀泵市场主要份额。但是由于技术?;ず蜕桃道娴仍蚧П玫难芯亢图际醭晒垂?,且关于滑阀泵研究公开发表的外国论文也很少,相关产品专利也都在保密期未能公开,可以说多项关键技术几乎被国外厂家分别拥有。最早生产滑阀泵的历史最早可以追溯到1908年,美国KINNEY公司后来还首创了三缸平衡的滑阀真空泵。而国内生产滑阀泵均是在解放后上世纪五六十年代,比国外整整晚了五十年。由于国外公司对于产品结构不断进行更新换代,其新一代的产品与我国目前生产的产品已经拉开了一定距离。
     
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